真空計量標準的研制與應用

　　蘭州物理研究所研制了一系列真空標準裝置，可用于真空規(guī)、方向規(guī)、分壓力質(zhì)譜計、真空漏孔和正壓漏孔的校準。其靜態(tài)膨脹法真空標準裝置、動態(tài)流量法真空標準裝置及超高/ 極高真空校準裝置是用于真空規(guī)校準的三套基礎標準，覆蓋的校準范圍為（10^-10～10⁵）Pa ；程控式真空規(guī)校準裝置適用于工業(yè)部門，其校準范圍為（10^-4～10⁵）Pa；為實現(xiàn)質(zhì)譜計的校準，研制了一臺具有三路相同獨立進樣系統(tǒng)的分壓力質(zhì)譜計校準裝置， 標準分壓力通過磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)以兩種不同的方法進行測量，該校準裝置可實現(xiàn)（10^-7～10^-1）Pa 范圍內(nèi)的分壓力校準；為實現(xiàn)真空漏孔的校準，研制了恒壓式氣體微流量標準裝置和固定流導法氣體微流量標準裝置， 恒壓式氣體微流量標準裝置的校準范圍為（10^-8～10^-2）Pa·m³/s，固定流導法氣體微流量標準裝置的校準范圍為（10^-10～10^-5）Pa·m³/s ，漏孔漏率的校準通過比較被校漏孔和標準氣體微流量計在一臺四極質(zhì)譜計上引起示漏氣體離子流的大小計算得到；為實現(xiàn)正壓漏孔的校準，研制了一臺正壓漏孔校準裝置，采用定容法和定量氣體動態(tài)比較法對正壓漏孔進行校準，校準范圍為（5×10^-8～10^-1）Pa·m³/s；研制了一臺定向流真空校準裝置，實現(xiàn)對方向規(guī)的校準和非平衡態(tài)分子流的研究，裝置的校準范圍為（10^-7～10^-1）Pa。

　　真空計量學不僅是真空科學的重要組成部分, 而且也已發(fā)展成為計量學的一個新的獨立分支。國際上一些重要的國家級計量研究機構都建立了真空計量標準, 如美國國家標準技術研究院(NIST )、德國聯(lián)邦物理技術研究院(PTB)、英國國家物理實驗室(NPL) 等, 以專門從事真空計量研究。我國的真空計量研究主要集中在國家計量科學研究院(NIM) 和蘭州物理研究所(LIP)。蘭州物理研究所經(jīng)過四十多年的努力，建立了全壓力、分壓力、氣體微流量及定向流真空校準裝置，用于真空計、分壓力質(zhì)譜計、真空漏孔、正壓漏孔及方向規(guī)的校準，本文將對這些真空標準裝置的研制及應用作簡要介紹。

1、真空規(guī)校準裝置

2、分壓力質(zhì)譜計校準裝置

3、漏孔漏率校準裝置

4、定向流真空校準裝置

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5、結束語

　　蘭州物理研究所（LIP）經(jīng)過40 多年的努力,建立了完整的真空計量標準體系, 包括全壓力真空計量標準、分壓力真空計量標準、氣體微流量真空計量標準及定向流真空校準裝置，拓寬了真空計量的范圍, 擴充了真空計量參數(shù), 提高了真空校準/ 檢定的水平, 滿足了我國各個應用領域?qū)φ婵沼嬃苛恐禍蚀_傳遞的需求。