滑閥真空泵性能再探——抽氣速率
滑閥真空泵的幾何抽速（理論抽速）按JB/T 1246- 2007《真空技術(shù)-滑閥真空泵》標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定，應(yīng)為名義抽速的1~1.2 倍，幾何抽速乘以抽氣效率就是實(shí)際抽速。抽氣效率與泵各零部件之間的間隙有非常密切的關(guān)系，在充分考慮被抽氣體的成分、工作溫度、和粉塵等條件下，適當(dāng)減小間隙，有利于抽氣效率的提高。其他如排氣速度，抽、排氣管道、泵油質(zhì)量等也都會(huì)影響抽氣效率。泵腔各相對(duì)活動(dòng)的零部件之間的間隙對(duì)泵的抽速有顯著影響，如“滑閥真空泵性能再探——極限真空度”一文所述，凡有利于真空度提高的，也都有利于抽速的提高。
間隙
需要特別指出，一般認(rèn)為雙級(jí)泵高真空缸的真空度高，所以間隙應(yīng)取得小一些。其實(shí)并非如此，正是因?yàn)楦哒婵崭椎恼婵斩雀撸瑲怏w分子自由程較大，在同樣間隙下，氣體分子不容易穿透間隙，而在低真空缸，由于氣體分子自由程較小，氣體比較容易穿透間隙。所以低真空缸的間隙必須嚴(yán)格控制，反而高真空缸的間隙倒是可以適當(dāng)放寬。我們?cè)?5 L/s 雙級(jí)泵上做過對(duì)比試驗(yàn)，證實(shí)這個(gè)觀點(diǎn)是正確的，對(duì)提高抽氣效率有益。我們?cè)鴻z測(cè)過E2M40 泵（名義抽速11.8 L/s）高真空缸的側(cè)面間隙為0.095mm， 低真空缸的側(cè)面間隙為0.06 mm；D-650K 泵（名義抽速10.67 L/s）高真空缸的側(cè)面間隙為0.07~0.08 mm，低真空缸的側(cè)面間隙為0.05 mm。
排氣速度
排氣速度要適當(dāng)，一般不超過30 m/s，過高的排氣速度將促使被壓縮的氣體從壓縮腔向吸氣腔返流，不但會(huì)影響泵的真空度，更會(huì)導(dǎo)致抽氣速率的下降。對(duì)于雙級(jí)滑閥泵來(lái)說，高真空缸與低真空缸之間的通道面積也極為重要，如通道面積過小，將使氣體流速加快，造成低真空缸來(lái)不及完全吸收從高真空缸排出的氣體，產(chǎn)生氣體返流，會(huì)嚴(yán)重影響高真空缸的抽速。由于在設(shè)計(jì)中已預(yù)先考慮了這種可能性，所以我們的雙級(jí)滑閥泵中沒有出現(xiàn)過上述現(xiàn)象。但在兄弟單位委托我們檢測(cè)的2XZ-2 和2XZ-4 雙級(jí)旋片泵中就出現(xiàn)過上述現(xiàn)象，由于2XZ-2 和2XZ-4 泵的大部分零部件是通用的，只是泵缸的長(zhǎng)度不同，高真空缸和低真空缸之間的通道面積是相同的，所以對(duì)2 L/s 泵而言是足足有余的，而對(duì)4 L/s泵來(lái)說則就不夠了。檢測(cè)發(fā)現(xiàn)在1.5 kPa 時(shí)，2 L/s泵的抽氣效率達(dá)到85%，而4 L/s 泵只有77%，達(dá)不到行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的要求，經(jīng)我們建議，擴(kuò)大了4 L/s泵的通道面積，復(fù)測(cè)4 L/s泵在1.5 kPa 時(shí)的抽氣效率達(dá)到85%以上。
泵油的質(zhì)量
泵油的質(zhì)量對(duì)高真空區(qū)間的抽速有一定的影響，尤其是全壓抽速。質(zhì)量差的泵油在高真空區(qū)間揮發(fā)出的油蒸汽較多，在被抽氣體中占有一定的比例，而優(yōu)質(zhì)泵油的飽和蒸汽壓低，在高真空區(qū)間揮發(fā)出的油蒸汽很少，所以實(shí)際抽出的氣體多，抽氣效率就高了。
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